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      快速退火爐的應用及硬件更換

      日期:2021-10-27 14:54
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      摘要:
          快速退火爐廣泛應用在IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導體和功率器件等多種芯片產品的生產,和歐姆接觸快速合金、離子注入退火、氧化物生長、消除應力和致密化等工藝當中,通過快速熱處理以改善晶體結構和光電性能,技術指標高、工藝復雜、專用性強。

      硬件更換:

          1.加熱燈管更換:加熱燈管超過使用壽命或無法點亮時需進行更換。加熱燈管的使用壽命為3000小時,高溫狀態下會降低其使用壽命。

          2.真空泵油更換:在使用過程中,請每季度固定觀察1次真空油表,當油表顯示油量低于1/3時請添加真空泵潤滑油到油表一半以上。

          3.熱電偶更換:當熱電偶測溫不正?;蛘邠p壞時需進行更換。熱電偶的正常使用壽命為3個月,隨環境因素降低其壽命。

          4.O型圈的更換:O型圈表面有明顯破損或者無法氣密時需進行更換,其壽命受外力以及溫度因素影響。

      尊敬的客戶:    
            您好,我司是一支技術力量雄厚的開發群體,為廣大用戶提供完整的解決方案和技術服務。主要產品有氧化鋯燒結爐、石墨烯制備設備、等離子清洗機等。本企業堅持以誠信立業、以品質守業、以進取興業的宗旨,以更堅定的步伐不斷攀登新的高峰,為民族自動化行業作出貢獻,歡迎新老顧客放心選購自己心儀的產品。我們將竭誠為您服務!


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