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      成越科儀高真空鍍膜儀操作流程

      日期:2021-10-28 04:16
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      摘要:高真空鍍膜儀操作流程:1.開啟循環水,并檢查循環情況和是否漏水。2.開啟電源總閥。3.打開真空室的手動放氣閥放氣,放氣結束后關閉手動放氣閥。接著打開真空室蓋。4.放置蒸鍍金屬和樣品,關閉真空室蓋。5.開啟真空計,開啟機械泵,然后打開前級閥。6.待真空度小于10Pa后開啟分子泵。待真空度小于7*10-4Pa后開始蒸鍍(蒸鍍期間不要關閉機械泵、前級閥和分子泵)。


      高真空鍍膜儀操作流程:


      1.開啟循環水,并檢查循環情況和是否漏水。


      2.開啟電源總閥。


      3.打開真空室的手動放氣閥放氣,放氣結束后關閉手動放氣閥。接著打開真空室蓋。


      4.放置蒸鍍金屬和樣品,關閉真空室蓋。


      5.開啟真空計,開啟機械泵,然后打開前級閥。


      6.待真空度小于10Pa后開啟分子泵。待真空度小于7*10-4Pa后開始蒸鍍(蒸鍍期間不要關閉機械泵、前級閥和分子泵)。


      7.蒸鍍:
      (1)開啟并設置膜厚控制系統。
      (2)開啟樣品架旋轉按鈕(5%-10%),并打開樣品托擋板。
      (3)開啟蒸鍍電極電源并檢查腔體內擋板情況
      (4)膜厚儀示數歸零。
      (5)調節電流值(銀38A;金50A)開始蒸鍍。

      (6)當膜厚達到要求值后先關擋板后,再將電流調節閥歸零,并蓋住樣品托。


      8.關閉設備
      (1)關閉真空計  ?。。?!
      (2)關閉分子泵,當分子泵示數為零時,關閉前級閥,*后關閉機械泵。
      (3)打開真空室手動放氣閥,放氣結束后再關閉放氣閥。
      (4)取出樣品(此時可以放置下一次要蒸的樣品)。
      (5)開啟真空計,打開機械泵,前級閥,將真空室抽真空至10Pa以下。
      (6)關閉真空計,關閉前級閥和機械泵。

      (7)關閉設備總電源和墻上總電源以及循環水系統。


      若出現異常,請先關閉分子泵?。?!緊急情況,請關閉總電源?。。?!


      豫公網安備 41019702002438號

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