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        產品詳情
        • 產品名稱:實驗室多弧離子鍍鍍膜儀

        • 產品型號:CY-MIOP500S-2TA
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        實驗室多弧離子鍍鍍膜儀是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上,實驗室多弧離子鍍鍍膜儀十分適合鍍硬質保護膜如TiN等
        詳情介紹:

        CY-MIOP500S-2TA多弧離子鍍鍍膜儀

        多弧離子鍍是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用范圍。其具有蒸鍍速率快,薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等優點。十分適合鍍硬質保護膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色,且膜層與基板結合牢固,故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。

        設計特色

        本設備配有兩個多弧靶,分置于腔體兩側。配合行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率,改善成效果,該鍍膜儀還采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的安全。 


        產品型號

        CY-MIOP500S-2TA

        真空腔體

        水冷不銹鋼腔體

        φ500mm X 490mm(H)

        前開門式,配有φ100mm石英觀察窗

        內置兩組紅外加熱燈,可對腔體烘烤除氣

        預留多個CF接口,可安裝多路膜厚儀

        進氣系統

        質量流量計Ar氣0~200sccm,

        N2氣0~200sccm其他流量或者氣體可定制

        供電要求

        AC 220V 50Hz  10kW

        控制方式

        15英寸觸控屏 組態控制軟件

        多弧靶

        數量規格

        3英寸x2

        安裝方式

        腔體側方對置

        工作電流

        0~150A

        靶材厚度

        max50mm,min20mm

        樣品

        規格

        行星式掛架

        可懸掛樣品數

        每支掛架上6個掛點,共計6個掛架

        轉速

        公轉轉速1~20rpm

        真空系統

         

        產品型號

        CY-GZK103-A

        分子泵

        渦輪分子泵

        前極泵

        雙極旋片泵

        抽氣速率

        分子泵:600L/S

        綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa

        旋片泵:1.1L/S

        極限真空

        5×10E-4Pa

        抽氣接口

        KF40

        排氣接口

        KF16

        真空測量

        復合真空計

         

        豫公網安備 41019702002438號

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