產品詳情
      • 產品名稱:?桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀

      • 產品型號:CY-MSP210S-2DC
      • 產品廠商:成越科儀
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      簡單介紹:
      ?桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀可用于金屬薄膜的制備,在電子領域、光學領域、特殊陶瓷制備等領域均有應用,尤其是實驗室SEM樣品制備,?桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀采用旋轉加熱樣品臺,可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質量。
      詳情介紹:

      CY-MSP210S-2DC桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀本設備為實驗室真空PVD鍍膜儀,可用于金屬薄膜的制備,在電子領域、光學領域、特殊陶瓷制備等領域均有應用,也可實驗室SEM樣品制備。


      名稱

      桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀
      型號
      CY-MSP210S-2DC
      特點

      1.采用高真空不銹鋼腔體,前開門式設計,門上配有石英觀察窗,便于實驗的觀察記錄。

      2.配有旋轉加熱樣品臺,可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質量。

      3.頂蓋上裝有一套擋板,可通過轉動擋板切換兩支靶,實現多層鍍膜。

      4.需要配合高真空分子泵組一起使用,用戶可以選擇進口品牌小型分子泵以進一步節省安裝面積。

      5.可選配膜厚儀組件,可實時監測膜厚數據,為實驗工藝提供可靠參數。

      技術參
      1.  供電電壓 AC220V,50Hz
      2.  整機功率 4KW
      3.  載樣臺參數 
           尺寸 φ100mm;加熱溫度 *高500℃;控溫精度 ±1℃;轉速 1-20rpm可調
      5.  磁控濺射頭參數 
           數量 2個2”磁控濺射頭;水冷
      6.  真空腔體 
           尺寸φ210mm X 260mm H; 材料 不銹鋼; 觀察窗口 φ40mm;前開門式
      7.  氣體流量控制器 1路200sccm Ar;
      8.  真空泵 分子泵組
           前級泵 旋片泵 抽速 1.1L/s
           次級泵 渦輪分子泵(國產) 抽速 600L/s
           抽氣口 KF40 出氣口 KF16
      9.  膜厚儀 石英振動薄膜測厚儀一臺,分辨率0.10 ?
      10. 濺射電源(2DC)
           直流電源 2臺,輸出功率≤300W,輸出電壓≤600V,響應時間<5ms



      豫公網安備 41019702002438號

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