產品詳情
      • 產品名稱:晶圓級大尺寸二硫化鉬制備CVD設備

      • 產品型號:CY-O1200-120III-IC-3Z-MoS2
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      晶圓級大尺寸二硫化鉬制備CVD設備包括三溫區管式爐,特殊設計的爐管及配套氣路一組,晶圓級大尺寸二硫化鉬制備CVD設備通過特殊設計的管路,能夠將反應氣體均勻的釋放于爐管。
      詳情介紹:

      晶圓級大尺寸二硫化鉬制備CVD設備(1150 三溫區 3路MFC)

      本設備為基于CVD原理設計的晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置。包括三溫區管式爐,特殊設計的爐管及配套氣路一組。該設備通過特殊設計的管路,能夠將反應氣體均勻的釋放于爐管,確保后端晶圓上的產物的一致性和均勻性。是二硫化鉬制備實驗的不二之選。 

      1.特殊管路設計,反應氣體均勻的釋放

      2.二硫化鉬制備不二之選

      技術參數

      產品型號

      CY-O1200-120III-IC-3Z-MoS2

      爐管材質

      高純石英

      爐管規格

      外部大石英管 φ120mm x1000mm

      內部小石英管  φ25mm x820mm x7根

      溫區長度

      三溫區200mm+200mm+200mm

      控溫精度

      ±1℃

      度曲線

      三溫區獨立控溫,每個溫區均可設置30段時間溫度曲線

      工作溫度

      0~1150℃ 

      升溫速率

      ≤10℃/min

      進氣系統

      三路質量流量計Ar氣0~500sccm

      N2氣0~200sccm

      H2氣0~200sccm

      配有七路分氣、混氣氣路及混氣灌。

      爐管法蘭

      不銹鋼水冷法蘭,配有KF16真空接口,機械式真空計及不銹鋼針閥

      供電要求

      AC 220V 50Hz  4kW

      控制方式

      7英寸觸控屏

      真空泵

      雙極旋片真空泵

      真空度

      理論極限真空度10^-1Pa

       

      豫公網安備 41019702002438號

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