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        產品詳情
        • 產品名稱:R-PECVD?真空旋轉等離子增強CVD設備

        • 產品型號:TN-R-PECVD
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        R-PECVD真空旋轉等離子增強CVD設備由旋轉及傾斜機構、單溫區管式爐、等離子發生機構、質量流量計供氣系統、高真空分子泵組部分構成。R-PECVD真空旋轉等離子增強CVD設備利用旋轉和傾斜機構實現連續生產,并且可以使顆粒型樣品表面均勻生長產物。
        詳情介紹:

        R-PECVD真空旋轉等離子增強CVD設備(1200℃單溫區 4路MFC)設備由旋轉及傾斜機構、單溫區管式爐、等離子發生機構、質量流量計供氣系統、高真空分子泵組等部分構成。

        特點

        1.  相比于其他的石墨烯制備設備,能提供更高的基底真空,提高產物質量;
        2. 能夠利用旋轉和傾斜機構實現連續生產,使顆粒型樣品表面均勻生長產物;
        3. 等離子發生裝置能夠顯著降低反應溫度,提高反應效率。 

        技術參數

        單溫區管式爐

        產品型號

        CY-O1200-100IT

        爐管材質

        高純石英

        爐管直徑

        100mm

        爐管長度

        1500mm

        爐膛長度

        440mm

        加熱區長

        400mm

        恒溫區長

        200mm

        工作溫度

        0~1100℃

        控溫精度

        ±1℃

        控溫模式

        30段或50段程序控溫

        顯示模式

        高清全彩LCD觸控屏

        密封方式

        304不銹鋼真空法蘭

        供電電源

        AC:220V 50/60Hz

        RF輸出系統

        功率范圍

        0~500W可調

        工作頻率

        13.56MHz+0.005%

        工作模式

        連續輸出

        匹配阻抗模式

        能夠匹配,起輝均勻布滿爐管

        功率穩定度

        ≤2W

        正常工作反射功率

        ≤3W

        放大反射功率

        ≤70W

        諧波分量

        ≤-50dBc

        整機效率

        ≥70%

        功率因素

        ≥90%

        供電電壓/頻率

        單相交流(187V~153V) 頻率50/60Hz

        控制模式

        內控/PLC 模擬量/RS232/485通訊

        電源保護設置

        DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護

        冷卻方式

        強制風冷

        起輝長度

        在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光能布滿爐管

        供氣系統

        流量計

        四路質子流量計

        流量范圍

        MFC1量程:0~200sccm  MFC2量程:0~200sccm

        MFC3量程:0~500sccm  MFC4量程:0~500sccm

        分別對應氣體H2、 CH4、 N2、 Ar.

        測量精度

        ±1.5%F.S

        重復精度

        ±0.2%FS

        線性精度

        ±1%F.S.

        響應時間

        ≤4s

        工作壓力

        -0.15Mpa~0.15Mpa

        流量控制

        液晶觸摸屏控制,數字顯示,每路氣體含有針閥單獨控制

        進氣接口

        可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

        出氣接口

        可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

        連接方式

        雙卡套接頭

        工作溫度

        5~45℃

        氣體預混

        配氣體預混裝置

        排氣系統

         

        產品型號

        CY-GZK103-A

        分子泵

        渦輪分子泵

        前級泵

        雙級旋片泵

        抽氣速率

        分子泵:600L/S

        綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa

        旋片泵:1.1L/S

        極限真空

        5×10E-4Pa

        抽氣接口

        KF40

        排氣接口

        KF16

        真空測量

        復合真空計

        旋轉及傾斜裝置

        轉速范圍

        0-20rpm

        傾斜角度

        0-15°

        進出料

        自動進料,傾斜后可自動集料

         

        豫公網安備 41019702002438號

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