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        產品詳情
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        • 產品名稱:等離子測試系統

        • 產品型號:CY-PLT30-A
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        本設備為客戶定制等離子測試設備。設備主要部件為一個電感耦合的等離子發生器,發生器能夠在電感線圈內部的石英管內產生等離子體,石英管兩側的法蘭配有觀察窗,用戶可以在觀察窗上觀察實驗現象或者用其他儀器測量相關參數。設備采用觸控屏控制,屏幕集成所有實驗功能,如抽放真空、流量控制、射頻電源調節等。同時電感線圈采用水冷設計,外殼另有散熱風扇,保證了整套設備長時間工作的穩定性。該設備是高校實驗室進行等離子體相關性質研究的必備儀器。
        詳情介紹:

        技術規格:

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        *大功率

        1KW

        耦合方式

        電感耦合

        石英腔體

        O.Dφ30mm X 150mm   壁厚3.5mm

        觀察窗尺寸

        φ30mm

        真空接口

        KF16

        進氣口接口

        6.35mm 卡套接頭 

        質量流量計

        Ar標定 量程100sccm

        真空泵

        雙極旋片真空泵

        極限真空度

        0.1Pa

        冷卻方式

        水冷銅管+風冷殼體

        射頻電源

        *大輸出功率300W

        自動匹配

        頻率13.56MHz

        整機尺寸

        560mm X 620mm X 620mm


        豫公網安備 41019702002438號

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