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        產品詳情
        • 產品名稱:桌面型雙靶磁控鍍膜儀

        • 產品型號:CY-MSP210S-RFD
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        CY-MSP210S-RFD桌面型雙靶磁控鍍膜儀。設備經過小型化設計,在保留高真空不銹鋼腔體的同時,精簡了其他機構,將設備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源一個射頻電源,直流靶可用于金屬及其他導電材料的濺射,射頻電源可用于各種非金屬和金屬氧化物等的濺射。設備真空系統采用全進口真空泵,抽氣速度快,極限真空度高,真空性能優異。本設備結構緊湊功能完善便于使用,非常適合用于各類鍍膜試驗。
        詳情介紹:

        桌面型雙靶磁控鍍膜儀

        樣品臺

        尺寸

        φ150mm

        加熱

        *高500

        轉速

        0-20可調

         

         

        磁控濺射靶

        數量

        2” x2  雙靶共用一擋板

         

         

        真空腔體

        腔體尺寸

        φ210mm X 230mm 

        觀察窗口

        φ40mm

        腔體材料

        SS304不銹鋼

        開啟方式

        前開門式

        真空系統

        機械泵

        進口無油隔膜泵

        抽氣接口

        KF16

        分子泵

        進口分子泵

        抽氣接口

        KF40

        真空測量

        電阻規+電離規

        排氣接口

        KF16

        極限真空

        1.0E-3Pa

        供電電源

        AC 220V 50/60Hz

        抽氣速率

        無油泵 0.49L/s 分子泵:40L/S

        電源配置

        數量

        直流電源 x1 射頻電源x1

        *大輸出功率

        直流電源500W 射頻電源500W

         

        其他

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        整機尺寸

        550mm X 550mm X1100mm

        整機功率

        2kW

         

        豫公網安備 41019702002438號

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