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        產品詳情
        • 產品名稱:多弧離子鍍膜儀

        • 產品型號:CY-MIOP400S-2TA
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        本設備為多弧離子鍍膜設備。多弧離子鍍是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。本設備配有兩個多弧靶,分置于腔體兩側。配合行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率,改善成效果 該鍍膜儀還采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的安全。
        詳情介紹:

        功能特點:

        離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用范圍。其具有蒸鍍速率快,薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等優點。十分適合鍍硬質保護膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色,且膜層與基板結合牢固,故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。


        技術規格:

        多弧離子鍍膜儀

        樣品臺

        尺寸

        行星式樣品臺,外徑305mm,四周六工位

        工件可懸掛于各工位的支撐棒上

        外周轉速1~20rpm可調

        多弧離子靶

        數量

        φ84mm X 2

        真空腔體

        腔體尺寸

        φ300mm X 400mm 

        觀察窗口

        前置φ100mm含遮光片

         

        腔體材料

        304不銹鋼

        開啟方式

        前開門式

        膜厚控制

        晶振式膜厚測量儀,可選多通道膜厚控制儀

        真空系統

        前級泵

        雙極旋片泵

        抽氣接口

        KF16

         

        次級泵

        渦輪分子泵

        抽氣接口

        CF160

         

        真空測量

        電阻+電離

        復合真空規

        排氣速率

        機械泵1.1L/s

        分子泵 600L/s

         

        極限真空

        1.0E-5Pa

        供電電源

        AC 220V 50/60Hz

         

        抽氣速率

        旋片泵:1.1L/S

        控制系統

        自動控制

        操作界面:觸控屏+操作面板

         

        其他

        供電電壓

        AC380V,50Hz

        整機尺寸

        1000mm X 800mm X 1500mm

         

        整機功率

        5kW

        整機重量

        350kg


        豫公網安備 41019702002438號

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