產品詳情
      • 產品名稱:凈化型勻膠機

      • 產品型號:
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      凈化型勻膠機廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時,可用此設備進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠; 是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備?。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺,可分別獨立工作,也可兩臺同時工作。
      詳情介紹:

      設備特點:

      1、帶有100級空氣凈化裝置,可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵,防止

         勻膠過程中的雜質污染。

      2、 設置有LED照明燈,可程控照明,非常方便日常操作。

      3、可設置時間--轉速曲線,程序控制勻膠工藝

      4、7英寸液晶顯示屏,操作簡單易學無需專業學習

      主要技術參數:

      勻膠時間:1-99秒 
      勻膠轉數:0-8000轉/分 
      凈化效果:100級(美國聯邦標準) 
      操作區風速:0.3-0.5米/秒(有效操作區氣流狀態:垂直層流() 
      適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 
      外形尺寸:650x750x1620mm 
      外體顏色:白色 
      控制范圍和精度:轉速控制范圍為:500-8000轉,精度為±3% 
      時間控制范圍為:1-99秒,精度為±5% 
      轉速調整采用PID調節,精度。 
      轉速查看智能化:可自動識別哪個電機開或關,自動轉換到開啟的電機上??捎柘冗x定,也可在運行中隨時查看任一電機的轉速。

      豫公網安備 41019702002438號

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