產品詳情
      • 產品名稱:電子束蒸發鍍膜

      • 產品型號:
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      該設備以電子束蒸發方式鍍膜設備,主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。不僅可用于玻璃片、硅片等硬質襯底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜。
      詳情介紹:

      設備技術參數

      1、使用條件:環境溫度5℃~40℃   電源:三相380 V,功率:≤20 KW,水壓:≤2.5bar

      2、真空室尺寸:蒸發室尺寸φ500×H500(㎜)

      3、電子槍:新型電子槍1套,6穴坩堝

      4、樣品轉盤:樣品尺寸:≤φ150mm,樣品可旋轉,也可上下升降調節樣品到電子槍距離(樣品托形狀按用戶要求設計),加熱溫度≤500℃

      5、系統真空度

      ? 極限真空:經12~24小時烘烤,連續抽氣≤5x10-5Pa

      抽氣速率:從大氣開始40分鐘內真空度≤5x10-4Pa

      ? 系統漏率:整機漏率≤1×10-8Pa.L/s 停泵關機12小時后,測量真空室真空度≤10Pa

      6、抽真空系統FB1200分子泵+機械泵(TRP-36)系統,并設置旁路抽氣

      7、鍍膜監測:采用SQM160膜厚儀進行監測。

      8、鍍膜厚度的不均勻度≤6%

      豫公網安備 41019702002438號

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