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        產品詳情
        • 產品名稱:卷對卷式PECVD

        • 產品型號:
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        卷對卷式PECVD是等離子增強型化學氣相沉積設備(PECVD),并加裝了收放卷裝置。本設備可用于線材的連續化熱處理工藝中,如碳纖維制備、合金及其他材料線材改性處理等應用中。也適合用于石墨烯在卷材上的連續生長。 設備含卷對卷收放卷運動模塊、1200℃雙溫區可開啟式管式爐模塊、PE等離子增強模塊、真空系統以及三路質子流量計供氣系統五部分,整套體系可在真空/氣氛保護環境下工作。 收放卷機構轉速從1~400mm/min可調,機構采用反饋調節,可自動糾正轉速偏差,保證樣品的速度穩定不走樣,從而保證了實驗的**性
        詳情介紹:

        卷對卷式PECVD技術參數:

        1200℃雙溫區管式爐

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        *大功率

        3KW

        加熱溫區

        雙溫區 200mm+200mm

        工作溫度

        ≤1200℃

        控溫精度

        ±1℃

        控溫方式

        AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

        爐管材質

        高純石英

        爐管尺寸

        φ80mm I.D x 1400mm L

        密封方式

        不銹鋼真空法蘭

        真空測量

        電阻規

        工作氣體

        氫氣、氮氣、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體

        真空泵

        雙極旋片式真空泵

        極限真空度

        10^-1Pa

        三路質量流量計

        閥門類型

        不銹鋼針閥

        氣路數量

        三路

        承壓范圍

        0.05~0.3MPa

        量程

        1~100 SCCM(Ar)

        1~200 SCCM(H2

        1~500 SCCM (CH4)

        流量控制范圍

        ±1.5%

        混氣罐容積

        750mL

        氣路材料

        304不銹鋼

        管道接口

        6.35mm卡套接頭

        供電電源

        AC220V 50Hz

        S射頻電源

        輸出功率

        500W

        輸出精度

        ±1%

        射頻頻率

        13.56MHz

        射頻穩定度

        ±0.005%

        冷卻方式

        風冷

        豫公網安備 41019702002438號

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