產品詳情
      • 產品名稱:雙靶等離子濺射鍍膜儀(基礎型)

      • 產品型號:CY-PSP180G-2TA
      • 產品廠商:成越科儀
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      簡單介紹:
      本型號小型等離子濺射儀,采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。本型號儀器還配有旋轉樣品臺,能夠有效的提升鍍膜的均勻性。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。設備體積小巧造型美觀,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。
      詳情介紹:

      技術參數

      樣品臺

      尺寸

      100mm

      到靶面距離

      20~35mm高度可調

      等離子濺射靶

      數量

      2英寸2      

      冷卻方式

      自然冷卻   

      真空腔體

      腔體尺寸

      φ180mm X 210mm    

      觀察窗口

      全向可視

      腔體材料

      高純石英

      開啟方式

      頂蓋拆卸式

      上下蓋材質

      304不銹鋼

      抽氣接口

      KF16

      進氣接口

      1/4英寸卡套接頭

      電源配置

      數量

      直流電源x1

      輸出功率

      *大150W

      濺射電源

      1200V

      *大濺射電流

      50mA

      真空系統

      真空泵類型

      雙極旋片真空泵

      抽氣接口

      KF16

      排氣接口

      KF16

      抽氣速率

      1.1L/s(4m3/h)

      極限真空度

      ≥0.1Pa

      真空測量

      電阻真空規

      其他

      供電電源

      AC 220V  50Hz

      整機功率

      1.5kW

      整機尺寸

      500mm X 320mm X470mm

      整機重量

      30kg


      豫公網安備 41019702002438號

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