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        產品詳情
        • 產品名稱:1200℃雙溫區3路質量供氣低真空CVD系統

        • 產品型號:CY- O1200-50IIT-3Z-LV
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        1200℃雙溫區3路質量供氣低真空CVD系統由雙溫區管式爐、三路質量流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐兩個溫區分別由精密控溫儀表獨立控溫,通過調節各個溫區的溫度,該管式爐可以在加熱區內形成兩段溫度梯度或是形成較長的恒溫區域。每個溫區均可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。1200℃雙溫區3路質量供氣低真空CVD系統爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控制爐管內的氣氛環境。
        詳情介紹:

        1200雙溫區3路質量供氣低真空CVD系統同時管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。

        系統所配有的三路質量流量計,精度高可靠性強,可以準確混合1~3路氣體,操作面板采用數字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯系技術人員定制任意數量的氣路。

        適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

        技術參數:

        產品型號

        CY- O1200-50IIT

        爐管材質

        高純石英

        爐管直徑

        50mm(可選配60mm、80mm、100mm

        爐管長度

        1000mm

        爐膛長度

        440mm

        加熱區長

        200mm+200mm

        工作溫度

        01100

        控溫精度

        ±1

        控溫模式

        30段或50段程序控溫

        顯示模式

        LCD

        密封方式

        304不銹鋼真空法蘭

        法蘭接口

        1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

        可抽真空

        4.4E-3Pa

        供電電源

        AC:220V 50/60Hz

        產品型號

        CY-3Z

        氣體通道

        3通道

        測量部件

        氣體質量流量計

        測量量程

        A通道:0100SCCM    H2

        備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明??筛鶕蛻舻木唧w要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。

        B通道:0300SCCM    N2

        C通道:0500SCCM    Ar

        測量精度

        ±1.0%F.S

        管道耐壓

        3MPa

        工作壓差

        50300KPa

        連接管道

        304不銹鋼

        控制閥門

        304不銹鋼針閥

        接口規格

        進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

        供電電源

        AC:220V 50/60Hz

        機械泵

        旋片泵

        抽氣速率

        1.1L/S

        排氣接口

        KF16

        真空測量

        電阻規

        極限真空

        1.0E-1Pa

        供電電源

        AC:220V 50/60Hz

        抽氣接口

        KF16

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