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        產品詳情
        • 產品名稱:1200℃單溫區三通道混氣CVD系統

        • 產品型號:
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        1200℃單溫區三通道混氣CVD系統由單溫區管式爐和三路浮子流量計組成。1200℃單溫區三通道混氣CVD系統管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控制路管內的氣氛環境。
        詳情介紹:

        1200℃單溫區三通道混氣CVD系統采用全彩高清觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。系統所配有的三路浮子流量計,可以混合1~3路氣體,較為準確的配制出實驗所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計正面,可以監測氣體壓力及混合槽壓力。

        適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

        1200℃單溫區三通道混氣CVD系統技術參數:

        項目

        明細

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        MAX功率

        5KW

        加熱溫區

        455mm

        工作溫度

        1100℃ 1200℃1h

        控溫精度

        ±1℃

        升溫速率

        建議≤10℃/min

        控溫方式

        AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

        三溫區獨立控制,帶有過熱和斷偶保護

        爐管材質

        高純剛玉

        爐管尺寸

        φ60mm O.D×1300mm L

        氣體通道

        三通道質量流量計

        氣體量程

        A100sccm   B300sccm  C500sccm

        系統真空

        5~10Pa(如需更高真空度可以選配其他的泵)

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        豫公網安備 41019702002438號

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