產品詳情
      • 產品名稱:大功率程控伺服勻膠機

      • 產品型號:CY-HP-PC-S
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      CY-HP-PC-S大功率程控伺服勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備,它可以實現在價值百萬美元的設備上才可能達到的穩定性和均勻性,大功率程控伺服勻膠機能夠處理12寸以內的圓晶基片。
      詳情介紹:

      大功率程控伺服勻膠機主要特點:

      機身采用不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;

      工業級別400瓦伺服電機系統,采用于trCYk設備相同設計和程序,使您的工藝更具有實際應用意義;

      可達到50000rpm/s的旋轉加速度,確保旋轉勻膠的穩定性和極高的可重復性。

      大功率程控伺服勻膠機技術參數:

      旋涂程序:可以至多存儲100組程序,每組100步,每個步驟可**到0.1秒

      轉動速度:0-5000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂safety限定為5000rpm

      旋涂加速度:0-10000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂safety限定為10000rpm/s

      馬達旋涂轉速穩定性能誤差:<±1rpm

      轉速調節精度和重復性:1rpm

      工藝時間設定:0-3000 sec/step,時間設置精度:0.1sec

      支持wafer尺寸25px-300mm(12''圓晶)

      旋涂作業均勻性:<±3%在6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區域測量)

      CY-HP-PC-S大功率程伺服勻膠機優點:

      內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。

      7"觸屏控制面板操作系統,更方便操作。

      Telon ®/polyethylene“密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。

      標準配置轉速5000rpm,并可根據用戶需要進行定制。

      采用工業級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。

      機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,永不生銹,便于清洗。

      排風和抽氣系統位于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。

      透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時完全隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。

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