產品詳情
      • 產品名稱:三路質量流量計

      • 產品型號:CY-3Z
      • 產品廠商:成越科儀
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      簡單介紹:
      產品特點:1.選擇多種氣體方式;2.304不銹鋼管芯,耐腐蝕;3.不銹鋼雙卡快速接頭,連接方便,無泄漏。
      詳情介紹:


      ○ 適用范圍
      1.半導體制造業
      2.真空鍍膜設備
      3.特殊材料表面處理
      4.燃氣控制
      5.泄漏檢測系統
      6.環境檢測分析設備
      7.化學,石化,冶金,光纖等


      ○ 產品特點
      1.選擇多種氣體方式
      2.304不銹鋼管芯,耐腐蝕
      3.不銹鋼雙卡快速接頭,連接方便,無泄漏

      ○ 技術參數

      功能

      三路質量流量計

      質子流量控制器

      工作溫度:5~45 oC
      *大壓力: 3x106 Pa
      精度: ±1.5% FS
      重復精度: ±0.2%F.S.
      流量范圍:
      一路: 0~100 SCCM
      二路: 1~199 SCCM 
      三路: 1~499 SCCM 
      注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

      輸入電源

      AC 220V/50Hz單相

      功率

      150W

      機械壓力表

      有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接

      量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

      針閥

      316 不銹鋼

      通氣管道

      內部連接管道為1/4”不銹鋼管 

      外部通氣管道為1/4”聚四氟管 

      混氣罐

      Φ80X120mm

      截止閥及配件

      316不銹鋼針閥 

      Φ1/4” 不銹鋼管

      外形尺寸

      600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

      質量認證

      CE認證

      質保期

      一年質保期,終身維護

      豫公網安備 41019702002438號

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