產品詳情
      • 產品名稱:等離子增強型CVD系統

      • 產品型號:CY-O1200-50IS-PECVD
      • 產品廠商:成越科儀
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      簡單介紹:
      CY-O1200-50IS-PECVD是一款等離子增強型CVD系統。此系統由150W射頻電源、單溫區管式爐、3通道質子流量計控制系統、性能優異的真空泵組成。
      詳情介紹:

      ○ 產品介紹


      CY-O1200-50IS-PECVD是一款等離子增強CVD系統。此系統由150W射頻電源、溫區管式爐、3通道質子流量計控制系統、性能優異的真空泵組成。


      ○ 技術參數

      結構特點

      ? 150W射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度

        ? 3通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行**的調控 

      工作電源

       ? AC208-220V,50/60Hz

      ? 總功率:4KW

      溫區管式

       ? *高溫度:1100oC(< 2h) 連續工作溫度:1000℃

       ? PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統 

      ? 輸入功率:220V,單相,功率:1.5KW

      ? 加熱區長度:200mm,溫區:100mm 

      ? 爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管 

      等離子射頻電源

      ? 輸出功率:0-150W可調(穩定性:±1%

      ? 射頻頻率:13.56MHz(穩定性:±0.005%)

      ? *大反射功率:150W

       ? 匹配:手動匹配

      ? 射頻輸出端口:50Ω、N

      ? 噪音:<50dB

      ? 冷卻: 空氣冷卻

      ? 電源: 220VAC, 50/60Hz 

      石英管

      ? 高純石英管

      ? 尺寸:φ50mm*1200mm L 

      密封法蘭  

      ? 一對不銹鋼快接法蘭(法蘭上安裝有KF25真空接頭)

      真空泵(該部分為選配,單獨計費)

      ? 雙級真空泵 

      ? KF16卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵 

      3通道質子流量計控制系統(該部分為選配,單獨計費)

      ? 4通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的**控制(**度:±0.02% 

      ? 流量范圍: 

      一路: 0~100 SCCM 

      二路: 0~200 SCCM 

      三路: 1~200 SCCM 

      ? 電壓:220V AC 50/60Hz

      ? 氣體進出口配件:直徑6.35mm不銹鋼管

      ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出

      尺寸和重量

       ? 1400mm L x 600mm W x 1240mm H

       ? 凈重:90kg  

      質保期

      ? 一年質保期,終生維護(石英管、O型密封圈、加熱元件等耗材除外)

      質量認證

       ? CE認證 

      使用注意事項

      ? 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 

      ? 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥 

      ? 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態 

      ? 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

       ? 石英管的長時間使用溫度<1100℃

       ? 對于樣品加熱的實驗,使用時不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生。 


      ○ 免責聲明


      豫公網安備 41019702002438號

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